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焦点!海目星(688559.SH):公司攻克的一次激光硼掺杂工艺是TOPCon技术的关键工艺
来源: 格隆汇      时间:2023-03-07 00:47:30


【资料图】

格隆汇3月6日丨海目星(688559.SH)于2023年2月9日9:00-11:00/2023年2月13日13:30-15:00接受机构调研时表示,目前公司光伏行业的主要的输出产品是TOPConSE微损设备。TOPCon电池的制备工序包括清洗制绒、正面硼扩散、BSG去除和背面刻蚀、氧化层钝化接触制备、正面氧化铝沉积、正背面氮化硅沉积、丝网印刷、烧结和测试分选,约12步左右。其中,氧化层钝接结构制备为TOPCon在PERC的基础上增加的主要工序,也是TOPCon的核心工序,工艺路线大致分为LPCVD本征+磷扩(低压力化学气相沉积法)、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂(即物理气相沉积法)。

要做TOPCon,钝接结构制备是基础,但要做好TOPCon,正面硼扩散是相关企业要解决的最大挑战。

目前业内主要扩散工艺有一次激光掺杂、二次激光硼扩、丝网印刷等,但后两者都存在工艺原理上的缺陷,二次硼扩成本、耗能、耗时“三高”,操作繁琐,丝网印刷精度不足,因此一次激光掺杂被业内视为工艺难度最大却也是最优的解决方案。

公司攻克的一次激光硼掺杂工艺是TOPCon技术的关键工艺,提升效率的同时,能够有效降低成本。

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